Microscopic spectro-photometer

Microscopic
spectro-photometer

제품 > 디스플레이 평가 > TFT(oxide/LTPS) > OPTM(UV SR) series

제품 > 반도체 평가 > Metrology > OPTM(UV SR) series

OPTM(UV SR) series

기술의 발전으로 나노 물질의 역할은 더욱 중요해졌습니다. OPTM시리즈는 현미 분광을 통해 기존 제품보다 더 미세한 영역의 측정 및 연구가 가능하도록 해줍니다. 비파괴·비접촉 검사를 통해 각종 광학 재료의 코팅 필름 두께와 다층 박막을 정밀하게 측정할 수 있고, 포인트당 1초 이내로 고속 측정이 가능합니다. 초보자들도 쉽게 광학 상수 해석을 할 수 있는 소프트웨어를 탑재하고 있어 최적의 솔루션을 제공합니다.

 제품 특성  
  • 자외선부터 적외선까지 넓은 파장 범위를 측정하는 광학 시스템입니다.

  • 1초 안에 비접촉, 비파괴 고속 미세 측정이 가능합니다.

  • 정확한 막 두께와 광학 상수(n, k)를 얻기 위해 샘플의 절대 반사율을 측정합니다.

 제품 사양 

모델별 사양

Wavelength rangeAutomatic XY stage typeFixed frame typeBuilt-in head type
230 ~ 800nmOPTM-A1OPTM-F1
OPTM-H1
360 ~ 1,100nmOPTM-A2
OPTM-F2
OPTM-H2
900 ~ 1,600nmOPTM-A3
OPTM-F3
OPTM-H3


SpecificationsStrokeRepeatabilityStroke resolution
Automatic XY stage typeX: 200mm, Y: 225mm2μm1μm



선택가능한 사양

Wavelength rangeFilm thickness meas. rangeDetectorLight source
230 ~ 800nm
1nm ~ 35μmCCDdeuterium + halogen
360 ~ 1,100nm
7nm ~ 49μmCCDdeuterium + halogen
900 ~ 1,600nm
16nm ~ 92μmInGaAshalogen


TypeMagnificationMeasurement spot diameterViewing field
Reflective objective type2x lens∅ 100μm∅ 4,000μm
10x lens∅ 20μm∅ 800μm
20x lens∅ 10μm∅ 400μm
40x lens∅ 5μm∅ 200μm
Visible refractive type5x lens∅ 40μm∅ 1,600μm


 측정 
측정 항목
  • 반사율(절대, 상대)

  • 두께(Å부터 ㎛까지)

  • 광학 상수(n, k)


측정 가능 샘플

  • 반도체/디스플레이 제작용 증착 필름

  • PET 또는 플렉시블 기판에 코팅된 필름

  • 투명한 재료의 라미네이트 필름